La lithographie électronique offre lavantage, par rapport à la photolithographie employée actuellement, de permettre des gravures nettement plus fines. Toutefois, elle est également beaucoup plus lente. Pour remédier à ce problème, la société Emission System a mis au point un système exploitant 1 000 faisceaux électroniques parallèles. Une fois ces faisceaux amplifiés et focalisés, il est possible de procéder à des gravures beaucoup plus rapidement.
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